微纳电子器件实验中心是依托西安交通大学微电子学院建设的校级实验平台，实验室按照半导体行业建厂质量管理体系要求建设，主要承担半导体工艺开发、半导体器件研发与制备、器件可靠性测试三方面的研究工作。微纳电子器件实验中心目前拥有大型半导体相关设备三十余台，包括原子层沉积等高精薄膜沉积系统，电子束蒸发台等难熔物质沉积系统，超临界处理等表面改性自研装置，亚微米级线宽光刻机等半导体图形制造系统，低温高精探针台等半导体测试系统，设备范围涵盖了半导体材料到器件级的制备和表征。平台对社会开放共享，实现了公共资源的充分利用。平台2021年8月投入使用，校内学术团队目前依托该平台承担国家级、省部级科研项目五十余项，完成校企合作研发项目二十余项，发表国内外高水平学术论文成果一百余篇，为祖国的科学研究的发展进步作出了贡献，同时为国内部分企业面临的科学或工程问题，提供了原理分析和解决方案。

开放时间

8:30~18:30

详细地址

陕西省西安市长安区钓台街道交大创新港四号巨构4-1026~4-1040

参观预约方式

预约参观

18702981698